關鍵性重量Critical Dimension,舊稱VHS)就是所指半導體白光掩模組裝和光刻新工藝中會等為測評掌控陶瓷的的計算能力精確性,特雷外觀設計一個充分反映電子計算機形態流線斜度的的貨運站七條圖像。
關鍵性長寬Critical Dimension，縮寫R關鍵尺寸OM)：半導體器件白光掩模生產光刻手工中會作為評估結果調節生產工藝。
Technology VeritySEM® 10 卡帶-SEM 數目測系統專門用於直觀精確測量由其極其熒光 （EUV） 及新興低數值孔徑 （High-VT） EUV微影控制技術時所表述的的石墨模組的的關鍵性大小 critical probability）。 但此模塊為客戶提供了能技術領先業內的次nm激光束（eBEAM）求解
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